| Обозначение: |   ГОСТ Р 71994-2025 |
| Статус: | принят |
| Название рус.: | Системы подготовки воды для электронной промышленности |
| Название англ.: | Systems of ultrapure water treatment for electronics industry |
| Дата актуализации текста: | 01.06.2025 |
| Дата актуализации описания: | 01.06.2025 |
| Дата издания: | 31.03.2025 |
| Дата введения: | 01.11.2025 |
| Нормативные ссылки: |  ГОСТ 31958-2012;ГОСТ 34786;ГОСТ Р 58810;ГОСТ Р 71172-2023;ГОСТ ISO/IEC 17025 |
| Область применения: | Настоящий стандарт распространяется на системы получения и распределения ультрачистой (деионизованной) воды для производства изделий электронной техники. Настоящий стандарт содержит требования к ультрачистой воде. Классификация воды по качеству введена в зависимости от топологии технологического процесса производства микросхем. В настоящем стандарте установлены требования к системам получения и распределения ультрачистой воды. Требования стандарта распространяются на проектирование, монтаж, ввод в эксплуатацию, испытания, эксплуатацию и техническое обслуживание систем подготовки ультрачистой воды |
|
| Расположен в: |
|
