| Обозначение: |   ГОСТ Р 8.631-2007 |
| Обозначение англ: | GOST R 8.631-2007 |
| Статус: | введен впервые |
| Название рус.: | Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика поверки |
| Название англ.: | State system for ensuring the uniformity of measurements. Scanning electron microscopes. Methods for verification |
| Дата добавления в базу: | 01.09.2013 |
| Дата актуализации: | 01.01.2021 |
| Дата введения: | 01.02.2008 |
| Область применения: | Стандарт распространяется на растровые электронные микроскопы (РЭМ), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст минус 6 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с помощью рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629. |
| Оглавление: | 1 Область применения
2 Нормативные ссылки
3 Термины и определения
4 Операции и средства поверки
5 Требования к квалификации поверителей
6 Требования безопасности
7 Условия поверки и подготовка к ней
8 Проведение поверки
9 Обработка результатов измерений
10 Оформление результатов поверки
Библиография |
| Разработан: | ОАО НИЦ по изучению свойств поверхности и вакуума
ФГУ Российский научный центр Курчатовский институт
ГОУВПО Московский физико-технический институт (государственный университет)
|
| Утверждён: | 21.05.2007 Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (99-ст)
|
| Издан: | Стандартинформ (2007 г. )
Стандартинформ (2011 г. )
|
| Расположен в: |
|
| Нормативные ссылки: | |
ГОСТ 12.2.061-81 «Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное. Общие требования безопасности к рабочим местам»
